- 2010年12月
東京都品川区において、シリコンウェーハ再生事業を主たる事業として株式会社 RS Technologiesを設立- 2011年1月
三本木工場において操業開始- 2011年11月
三本木工場がUKAS(注)より「ISO9001:2008」(品質マネジメントシステム)認証取得- 2014年2月
台湾に子会社として艾爾斯半導體股份有限公司(現・連結子会社)を設立- 2015年3月
東京証券取引所マザーズに株式を上場- 2015年6月
最先端設備(450mmウェーハ再生可能)を導入した三本木工場・第8工場が竣工- 2015年12月
艾爾斯半導體股份有限公司(現・連結子会社)の台南工場が竣工。- 2016年9月
東京証券取引所市場第一部(東証一部)へ市場変更- 2017年12月
北京有色金属研究総院及び福建倉元投資有限公司と三社間で合弁契約を締結(プライムウェーハ事業)- 2018年1月
北京有研RS半導体科技有限公司を設立、中国プライムウェーハ製造メーカーである有研半導体材料有限公司を連結子会社化。プライムウェーハ事業に正式参入。- 2018年5月
株式会社ユニオンエレクトロニクスソリューション(日立パワーデバイスの特約店)を100%子会社化。- 2018年8月
山東有研半導体材料有限公司(有研半導体材料有限公司の連結子会社)を設立。- 2019年1月
株式会社 DG Technologiesを100%子会社化。- 2020年3月
山東有研RS半導体材料有限公司を設立。- 2020年10月
中国におけるプライムウェーハの生産拠点となる、山東有研半導体材料有限公司の新工場が竣工(注)UKASは英国認証機関認定審議会(United Kingdom Accreditation Service)の略称